Imec produce nanoporos de estado sólido a escala de oblea mediante litografía ultravioleta extrema
La organización con sede en Lovaina, Bélgica, informó la fabricación de nanoporos de aproximadamente 10 nanómetros en obleas de 300 mm utilizando litografía EUV, un avance que habilita aplicaciones escalables en biosensores y diagnóstico molecular
Imec anunció el 9 de diciembre de 2025 la primera fabricación exitosa a escala de oblea de nanoporos de estado sólido utilizando litografía ultravioleta extrema (EUV) en obleas de 300 mm. Este desarrollo transforma la tecnología de nanoporos, que pasa de ser un enfoque experimental a una plataforma escalable para biosensores, genómica y proteómica.
Hasta este avance, los nanoporos de estado sólido no habían alcanzado la producción masiva debido a la variabilidad y a los desafíos de integración en procesos industriales. La innovación introducida por Imec sienta las bases para conjuntos de biosensores compatibles con tecnología CMOS de alto rendimiento, lo que podría acelerar la medicina personalizada, el diagnóstico rápido y el almacenamiento de datos moleculares.
El proceso desarrollado por la entidad permite fabricar nanoporos de aproximadamente 10 nanómetros con alta uniformidad en toda la oblea. Se prevé que, con mejoras adicionales en las técnicas de integración, los tamaños de poro podrían reducirse a menos de 5 nanómetros. Durante la caracterización, la translocación eléctrica y biomolecular de los nanoporos alcanzó una relación señal/ruido de 6,2.
Ashesh Ray Chaudhuri, primer autor y gerente de Proyectos de I+D de Imec, señaló: “Imec se encuentra en una posición única para lograr este avance. Podemos aplicar la litografía EUV, tradicionalmente reservada para la memoria y la lógica, a las ciencias biológicas. Al aprovechar nuestra infraestructura de litografía, hemos demostrado que los nanoporos de estado sólido se pueden fabricar a escala con la precisión necesaria para detección molecular”. Chaudhuri agregó: “Esto abre las puertas a matrices de biosensores de alto rendimiento para la atención médica y más”.
La organización, con sede en Lovaina, Bélgica, informó que esta innovación podría impactar en áreas como la salud y el almacenamiento de datos moleculares, integrando la tecnología de semiconductores avanzada con aplicaciones biomédicas.
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