Imec produce nanoporos de estado sólido a escala de oblea mediante litografía ultravioleta extrema
La organización con sede en Lovaina, Bélgica, informó la fabricación de nanoporos de aproximadamente 10 nanómetros en obleas de 300 mm utilizando litografía EUV, un avance que habilita aplicaciones escalables en biosensores y diagnóstico molecular
